Kỹ thuật phân tích hàm lượng vàng bằng phương pháp huỳnh quang tia X được thực hiện theo nguyên lý khi bị tác động bởi một chùm bức xạ tia X (bức xạ sơ cấp) có năng lượng thích hợp từ ống phát xạ tia X hoặc từ nguồn đồng vị phóng xạ, các điện tử của lớp trong (lớp K, L, M) của các nguyên tố có trên bề mặt mẫu bị kích thích lên trạng thái năng lượng cao hơn. Khi trở về trạng thái cơ bản ban đầu sẽ phát ra bức xạ tia X thứ cấp (bức xạ huỳnh quang đặc trưng) với năng lượng và bước sóng đặc trưng cho mỗi nguyên tố và cường độ của bức xạ tia X thứ cấp tỷ lệ với mật độ (hàm lượng) của nguyên tố đó.